超精密恒温室
- 电池事业
大气社的技术
什么是微环境技术？
通过将高洁净度空间最小化，可降低设备的初始成本和运行成本。同时有助于提升产品质量和良品率。
概述
实现±5/1,000℃级别的精密温度控制
针对需要高性能定位的制造设备（半导体/液晶曝光机）及精密测量设备（电子天平），通过直膨式盘管+热气再热技术实现节能、低成本与高精度。
规格
超精密温控箱的结构（外观、前室、箱体主室）
- 直膨式空间精调装置的安装示例
- 作为半导体、LCD工厂内设置的精密温控室
- 采用高精度多回路调节器
- 通过双点传感器对吹出空气进行级联控制
- 根据安装环境进行适当的外扰补偿控制
- 洁净度0.1μm，1级
- 通过采用低挥发性材料，降低腔室内的化学物质浓度（符合ITRS标准）
- 采用特殊隔热板
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